알루미늄을 통한 전자 수송 특성
웹 우선, Al 2 O 3는 커패시터 응용 분야에서 효과적인 절연 장벽으로 사용되었습니다. (1) 주로 높은 저항률, 안정적인 유전체 때문입니다.
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웹본 논문에서는 열(T-ALD) 및 플라즈마 강화 원자층에 의해 증착된 알루미늄 산화물(Al2O3) 얇은 유전층의 초기 성장 단계에 대한 비교 연구
웹 알루미늄의 표면 산화는 전자 제품, 알루미늄-공기 배터리 및 보호에서 절연체로서의 중요한 역할에도 불구하고 여전히 제대로 이해되지 않았습니다.
웹 산화알루미늄은 전기 절연체이지만 세라믹 소재로서는 상대적으로 높은 열전도율(30 Wm − 1 K − 1)을 가지고 있습니다. 따라서 다음과 같이 사용됩니다.
웹기판. 산화알루미늄(Al2O3) 게이트 유전층은 150C 및 300C의 증착 온도(T dep)에서 원자층 증착(ALD) 방법으로 증착되었습니다.
웹알루미늄 산화물(알루미나)은 세라믹 재료의 일반적인 원료입니다. 고온에서 안정성과 내열성을 나타내는 우수한 전기 절연체입니다.